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快速退火爐

該設(shè)備可用于歐姆接觸制備以及快速氧化、快速退火等方面。具有長(zhǎng)時(shí)間工作穩(wěn)定性及快速升降溫、慢速升降溫的功能。

產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo):
1.恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 400mm
2.溫度均勻性:±1℃
3.最高溫度:1100℃
4.結(jié)構(gòu):電動(dòng)推拉式
5.石英管:φ120mm 長(zhǎng)1200mm 磨口
6.爐管內(nèi)徑:φ135mm 長(zhǎng)1200mm
7.進(jìn)出片方式:手動(dòng)、自動(dòng)可選
8.N2保護(hù),可選擇質(zhì)量流量計(jì)或浮子流量計(jì)控制
9.溫度控制:升降溫程序控制,三點(diǎn)溫度測(cè)量控制,超溫報(bào)警