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加熱平臺

加熱平臺適用于半導(dǎo)體工藝中的前烘,堅膜等工藝,具有操作簡單,升溫快等優(yōu)點。

產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo):
1.整機尺寸:350mm×350mm × 240mm
2.熱板尺寸:290mm × 290mm × 25mm
3.熱板材料:鋁、銅
4.溫度范圍:室溫~300℃
5.控制精度:±1℃
6.有效溫區(qū):240mm×240mm
7.加熱方式:內(nèi)熱式不銹鋼加熱棒
8.加熱功率:2500W