主要技術(shù)指標(biāo):
1.電源:220V 50Hz 1.5KW。
2.固體高能離子發(fā)生器:13.56MHz;0~500W連續(xù)可調(diào)。
3.最大裝片直徑:6英寸。
4.起輝真空度:約-100KPa左右。
5.氣體流量:0~5L/min。(質(zhì)量流量計(jì))
6.基片溫度:<100℃。
7.真空腔:鋁腔。
8.4L/s機(jī)械真空泵。
9.自動(dòng)匹配器。
10.控制方式:PLC、觸摸屏控制。