濕法清洗機具有以下先進(jìn)技術(shù)：
1.系統(tǒng)集成技術(shù)
2.自動精確配液、傳輸及精準(zhǔn)控制技術(shù)
3.材料與化學(xué)藥液工程防護(hù)技術(shù)
4.結(jié)構(gòu)系統(tǒng)模塊化控制技術(shù)
5.晶片自動傳輸及自動清洗控制技術(shù)
6.工藝槽流體均勻性控制技術(shù)
7.產(chǎn)品、人員安全防護(hù)控制技術(shù)

主要技術(shù)特點：
控制方式：采用進(jìn)口高性能PLC和觸摸屏或工控機實現(xiàn)集中控制，結(jié)合單元功能增加快捷按鈕控制簡化操作
槽體配置：材料：NPP、PVDF、一體成型PTFE、 進(jìn)口石英、PVC、316L不銹鋼等多種材料
槽體功能：恒溫控制（加熱/制冷）、循環(huán)過濾、自動配液/補液、抖動、旋轉(zhuǎn)、超聲/兆聲、溢流、三級清洗、快排、鼓泡、干燥等
定制設(shè)計：根據(jù)用戶要求提供工藝配置及工藝技術(shù)支持